实验系统采用LASER+FIB联用，高通量高效制备TKD样品，快速准确统计晶内共格纳米孪晶面积。可用于NPR及其他金属材料共格面积的快速统计分析。
实验系统功能
飞秒激光切割系统
离子束减薄系统
晶界及晶内孪晶分析系统
高通量共格面积统计软件
元素分析系统
辅助功能
真空系统
控制系统
主要技术参数
放大倍率：12×～2,000,000×，根据加速电压和工作距离的改变放大倍数可自动校准；
加速电压范围：0.02kV ～30kV，加速电压调节步进为10V，连续可调；
束流强度：束流可调范围：10pA~40nA，束流稳定性优于0.2%/h；
最大电子束位移量为200μm（20kV加速电压，WD=8.5mm条件下）；
工作距离可调范围：1-50mm；
离子束分辨率3.0nm@30kV，120nm@1kV，330nm@500V (多边统计法)；
离子束放大倍率可调范围300×～500,000×；
离子束加速电压可调范围500V～30kV；
可放置最大样品直径200mm（样品可360°旋转条件下），最大样品高度50mm；
背散射电子衍射仪在线解析标定速度4500pps，此时花样分辨率对应为88×156。电子图像分辨率达到8192×8192，EBSD面分布图分辨率达到4096×4096，取向精度达到0.05度；
具备分析透射样品的标定算法和专用样品台，可分析透射样品，可识别10nm量级的孪晶界。
